Others QMA에 관하여

2004.06.19 16:02

관리자 조회 수:19354 추천:307

저는 지금 플라즈마 진단을 위하여 QMA를 사용하고 있습니다.
RGA mode와 Ion mode가 있는데.. 차이점을 알고 싶습니다.
제가 사용하는 system은 electron beam의 에너지를 control이 가능한데..

1. RGA mode에서 electron beam의 에너지를 0eV로 한 경우와
    Ion mode의 차이점을 알고 싶습니다.

2. Plasma를 여기시킨 상태에서 RGA mode를 사용하는 경우(위의
  질문과 연관이 되는 것 같은데.. )
  QMA의 gas input단에서 이온을 QMA내로 들어오지 못하게 하는
  기능이 있는지 알고 싶습니다. ^^

수고하싶시오.. ^^

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75785
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56676
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68064
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90356
758 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 25
757 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 68
756 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 87
755 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 95
754 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 104
753 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 126
752 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 133
751 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 133
750 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 134
749 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 136
748 corona model에 대한 질문입니다. [1] 145
747 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 148
746 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 160
745 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 164
744 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 175
743 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 183
742 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 184
741 PECVD Uniformity [1] 195
740 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 201
739 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 209
쓰기
태그

Boards

XE Login