Others 석영이 사용되는 이유?

2010.04.16 19:26

최영익 조회 수:19691 추천:151

안녕하세요. 플라즈마를 공부하는 최영익이라고 합니다.

plasma device들 중에 석영을 주로 쓰는 경우가 있는데 특별한 이유가있는지요?

플라즈마 발생장치 중에 석영관 사이에서 방전을 한다거나

안테나가 석영관 뒤에 있는 경우가 있는데

석영이 선택되는 특별한 이유가 있는지요?

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [158] 72989
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17583
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55512
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65684
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86000
705 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. new 1
704 Self bias 내용 질문입니다. [1] 58
703 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 65
702 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 75
701 self bias [1] 76
700 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 88
699 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 109
698 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 112
697 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 178
696 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 195
695 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 199
694 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 207
693 plasma modeling 관련 질문 [1] 234
692 ESC DC 전극 Damping 저항 243
691 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 246
690 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 260
689 plasma striation 관련 문의 [1] file 261
688 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 269
687 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 270
686 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 271
쓰기
태그

Boards

XE Login