안녕하세요. 일반 회시에 다니는 회사원입니다.

다름이 아니고 마이크로웨이브파를 이용 플라즈마 발생장치에 관심이 있어 질문 드립니다.

만약 마그네트론 + 리액터 + 웨이브가이드  3개로 구성된 장치가 있는데 만약 여기에 사용되는 전력이 플라즈마를 발생시키기 위해서 마그네트론

과 리액터내 플라즈마를 발생시키기 위한 전력만 소모되는지요? 마그네트론은 1kw짜리 이고 리액터에 사용되는 플라즈마 발생장치는 저온 플라즈마(500~600도) 입니다.

개발업체에서는 플라즈마를 발생시키기 위해서 사용전력이 많이 들어간다고 하는데 얼마정도 인지 확인이 안되고 있습니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [312] 79211
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21254
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58056
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69610
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94396
823 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 6
822 ICP 장비 TCP Reflect 발생 간 조언 부탁드립니다. [1] 48
821 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 67
820 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 81
819 플라즈마 식각 커스핑 식각량 88
818 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 110
817 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 112
816 Druyvesteyn Distribution 119
815 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 122
814 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 123
813 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 125
812 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 126
811 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 132
810 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 136
809 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 144
808 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 147
807 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant] [1] 158
806 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 168
805 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 175
804 플라즈마 설비에 대한 질문 178

Boards


XE Login