안녕하세요 전자공학과 4학년으로 재학하며, 반도체 공정을 진단하는 회사에서 인턴을 진행하고 있습니다.

 

OES 정보를 이용하여 반도체 공정 데이터를 분석하는 도중, OES 분석을 진행할 때, 특정원소에 대한 정보가 필요한 상황입니다.

 

CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다.

해당 게시글에서 김곤호 님의 "저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트에서 자료를 찾아 보세요. 국내에서는 핵융합 연구소 기반기술 연구부(송미영박사님)에서 자료를 제공합니다. 문의드려 보세요. "

 

라는 답변을 참고하여 송미영 박사님께 컨택을 드리고 싶은데 한국핵융합에너지연구원 홈페이지에 정보가 부족하여 어려움을 겪고 있습니다.

혹시 "저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트"라고 말씀하신 곳의 자세한 정보나, 송미영 박사님 컨택 경로에 대해 자세히 알 수 있을까요?

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5807
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17215
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53054
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64479
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85098
698 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 18
697 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 39
696 ICP lower power 와 RF bias [1] 57
695 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 61
694 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 91
693 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 124
692 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 146
691 plasma modeling 관련 질문 [1] 151
690 ESC DC 전극 Damping 저항 160
689 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 169
688 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 180
» OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 207
686 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 208
685 RF Sputtering Target Issue [1] file 213
684 plasma striation 관련 문의 [1] file 219
683 Polymer Temp Etch [1] 220
682 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 231
681 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 232
680 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 234
679 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 240

Boards


XE Login