DC glow discharge 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!?
2016.06.02 13:58
플라즈마 띄울때
산소 소모량이 40 l/min이라고 합니다.
(공기평균 분자량은 29 g/mol)이라고 괄호가 쳐있구요
만약 Ar일때는 분당 몇 l가 소모될까요???
자세한 답변 부탁드립니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76543 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20078 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57116 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91697 |
503 | poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. | 1399 |
502 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 1406 |
501 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1412 |
500 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1414 |
499 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1417 |
498 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1425 |
497 | PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] | 1427 |
496 | Ar plasma power/time [1] | 1429 |
495 | PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] | 1437 |
494 | 알고싶습니다 [1] | 1438 |
493 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1442 |
492 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1446 |
491 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1448 |
490 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1449 |
489 | 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] | 1451 |
488 | 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] | 1453 |
487 | charge effect에 대해 [2] | 1454 |
486 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1456 |
485 | plasma 형성 관계 [1] | 1466 |
484 | PECVD 증착에서 etching 관계 [1] | 1472 |