안녕하세요, 한국기술교육대학교에서 석사과정중인 최인규입니다.


현재, Plasma 상태에서의 분자와 기판의 반응을 시뮬레이션을 통해서 모사해 보려고 하고 있습니다.


다만 현재 N 플라즈마 상태에서, N이 어떠한 형태로 존재하는지 알지 못하고 있습니다. 


H 플라즈마의 경우에는 I. Mendezet al , J. Phys. Chem . Rev . A 110 2006 ) 6060 6 논문을 참고하여, 


H 원자 형태로 가장 많이 존재하며 그 이후로 H3+, H+, H2+ 순으로 구성되어있다고 하는데,


N 플라즈마의 경우 대부분이 N+ / N2+ 의 비율로만 보여주고 있어 어려움이 있습니다.


혹 N이 이온이 아닌 원자 형태로 존재하는지, 존재를 한다면 N+, N2+ 대비 얼마나 존재 할지 궁금하여 질문드립니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20169
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68693
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92269
508 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1387
507 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1394
506 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1402
505 플라즈마 관련 교육 [1] 1405
504 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1407
503 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1412
502 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1423
501 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1424
500 MATCHER 발열 문제 [3] 1429
499 ICP lower power 와 RF bias [1] 1433
498 Ar plasma power/time [1] 1436
497 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1441
496 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1441
495 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1444
494 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1449
493 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1454
492 알고싶습니다 [1] 1455
491 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1455
490 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1458
489 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1463

Boards


XE Login