Matcher 13.56MHz resonator 해석 관련 문의

2014.07.10 20:00

ㅇㅇ 조회 수:1900

안녕하세요

다름이 아니오라 제가 플라즈마 장비에 장착된 13.56MHz resonator 해석중인데요.ㅎ

혹시 HFSS를 이용하여 해석해 보신 경험이 있으신지요?

만약에 있으시거나 도움을 받을 만한 것들이 있다면 알려주시면 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] 75761
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19446
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56668
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68016
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90270
457 터보펌프 에러관련 [1] 1670
456 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1673
455 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1697
454 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1711
453 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1716
452 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1723
451 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1729
450 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1732
449 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1733
448 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1754
447 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1755
446 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1762
445 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1766
444 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1793
443 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1796
442 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1796
441 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1801
440 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1812
439 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1814
438 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1818

Boards


XE Login