번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5900
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17348
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53170
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65104
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85195
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 5697
316 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5718
315 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5769
314 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 5918
313 자료 요청드립니다. [1] 6071
312 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6079
311 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 6113
310 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6116
309 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6231
308 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6243
307 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6263
306 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 6297
305 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6332
304 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6334
303 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6367
302 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6475
301 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6505
300 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6649
299 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7242

Boards


XE Login