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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20044 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다.
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RIE Gas 질문 하나 드려도될까요?
[1] | 309 |
740 |
공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 312 |
739 |
ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유
[1] | 312 |
738 |
plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다
[1] | 326 |
737 |
chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의
[1] | 329 |
736 |
반사파와 유,무효전력 관련 질문
[2] | 330 |
735 |
Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정
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734 |
텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량
[1] | 345 |
733 |
RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다.
[1] | 347 |
732 |
플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거
[1] | 352 |
731 |
안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다.
[1] | 352 |
730 |
CURRENT PATH로 인한 아킹
[1] | 371 |
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입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
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728 |
플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문
[1] | 372 |
727 |
애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다.
[1] | 373 |
726 |
CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의
[2] | 375 |
725 |
center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2
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plasma modeling 관련 질문
[1] | 379 |
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ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다.
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