번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65719
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86082
87 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 21962
86 플라즈마 코팅에 관하여 21973
85 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] 22095
84 PEALD관련 질문 [1] 22129
83 CCP/ICP , E/H mode 22209
82 Peak RF Voltage의 의미 22282
81 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] 22343
80 Dry Etcher 에 대한 교재 [1] 22380
79 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] 22409
78 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22447
77 [질문] Plasma density 측정 방법 [1] 22481
76 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22490
75 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 22695
74 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22773
73 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 22792
72 고온플라즈마와 저온플라즈마 22809
71 No. of antenna coil turns for ICP 22848
70 DC glow discharge 22948
69 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23075
68 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23080

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