Matcher 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다.
2011.01.03 12:29
이제 막 Plasma라는 것에 발을 딛은 초보직장인인데요.
Mather장비는 A사 제품을 쓰고 있는데 항상 Matching test를 할때마다
tune과 load값이라는 것을 조정하여 맞추더군요.
솔직히 이 두개값에 대한 정의에 대해서도 잘모르겠고, 어떻게 조정을 하여
맞추는지 매우 궁금합니다. 결과적으로는 Plasma가 잘 발생하게 하기 위한 방법이겠지만
이해하기 쉽게 설명하여 주시면 매우 감사하겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76692 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57159 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68681 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92218 |
107 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21330 |
106 | 플라즈마 측정기 [1] | 21331 |
105 | 플라즈마 실험 | 21344 |
104 | Breakdown에 대해 | 21359 |
103 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21381 |
102 | 47th American Vacuum Society International Symposium 2000 | 21425 |
101 | ccp-icp | 21467 |
100 | F/S (Faraday Shield) | 21492 |
99 | 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] | 21513 |
98 | 대기압플라즈마를 이용한 세정장치 | 21540 |
97 | 스퍼터링시 시편두께와 박막두께 [1] | 21567 |
96 | manetically enhanced plasmas | 21655 |
95 | glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 | 21748 |
94 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21894 |
93 | 펄스바이어스 스퍼터링 답변 | 21941 |
92 | 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 | 21996 |
91 | 플라즈마 코팅에 관하여 | 22090 |
90 | remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] | 22106 |
89 | 질문있습니다 교수님 [1] | 22109 |
88 | 플라즈마의 발생과 ICP | 22132 |