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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73370
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693 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 844
692 전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성] [1] 848
691 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [플라즈마 생성, Plasma collision reaction] [1] 853
690 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 862
689 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [Plasma information과 monitoring] [1] file 863
688 Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground] [1] 865
687 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability] [1] file 866
686 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 869
685 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE] [1] 869
684 ICP 후 변색 질문 871
683 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [UV energy] [1] 872
682 CCP RIE 플라즈마 밀도 [Global model, Plasma generation, Ionization collision] [1] 897
681 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 900
680 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정] [1] 909
679 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 919
678 ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation] [1] 921
677 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 927
676 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [Plasma torch와 cyanide] [2] 931
675 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 932
674 기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging] [1] 932
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