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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70518
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565 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [Chamber impedance] [2] 1251
564 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1253
563 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 1253
562 Group Delay 문의드립니다. [마이크로파] [1] 1262
561 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1267
560 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1274
559 Vacuum chamber(Etching)내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계 [Plasma bulk Temp와 wall Temp] [2] 1274
558 대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계] [2] 1283
557 공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식] [1] 1292
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555 wafer bias [Self bias] [1] 1296
554 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [DBD] [1] 1312
553 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1315
552 etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution] [1] 1325
551 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [플라즈마 방전 및 이온 가속] [1] 1332
550 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [나노광전자 데이터 분석] [1] 1338
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