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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해]
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DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스]
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800 |
가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해]
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인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath]
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Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터]
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반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가]
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Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해]
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795 |
Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length]
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RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral]
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793 |
챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식]
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Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath]
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791 |
RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power]
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corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마]
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789 |
진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy]
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788 |
플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가]
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787 |
CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화]
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786 |
실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma]
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화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마]
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784 |
플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해]
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783 |
Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해]
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