Plasma in general 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다.

2021.02.16 15:54

blackstar 조회 수:28515

안녕하세요.

국내 소재 기업에 근무하며 진공장비 및 박막 공정에 대해 공부하고 있는 이용섭입니다.

 

궁금한 점은

 

DC나 RF 플라즈마를 켜고 육안으로 봤을 때 압력에 따라 플라즈마의 크기(퍼지는 정도)에 차이가 발생합니다.

 

압력이 낮으면 플라즈마 크기가 커지고(퍼지고), 압력이 높아지면 플라즈마 크기가 작아지는 것으로 보입니다.

 

이러한 현상이 나타나는 이유(압력에 따라 플라즈마 크기가 달라지는 이유, 원리)가 궁금합니다.

 

 

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] 76710
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20162
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57162
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68684
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92244
253 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 372
252 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 373
251 plasma modeling 관련 질문 [1] 387
250 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 390
249 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 391
248 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 417
247 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 426
246 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 432
245 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 443
244 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 445
243 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 446
242 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 447
241 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 450
240 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 454
239 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 468
238 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 481
237 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 484
236 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 484
235 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 487
234 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 504
쓰기
태그

Boards

XE Login