안녕하세요. 카이스트에서 석사 1년차로 있는 대학원생입니다.

 

Single probe로 electron energy probability distribution을 구할 때, low energy electron은 bulk plasma에서 평형 상태에 도달한 전자들을 지칭하고 high energy electron은 cathode에서 방출되고 probe sheath를 통해 bulk plasma로 가속되는 전자들을 지칭하는 것으로 알고 있습니다.

 

이 두 그룹의 전자들을 구분할 수 있는 식이 따로 있는지 궁금합니다. 실험을 통해 얻은 EEPF에서 몇 eV부터 몇 eV까지는 low energy electrons이고 몇 eV부터 몇 eV까지는 high electrons이다 라는 형태의 답을 얻고 싶습니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82561
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21950
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58735
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70359
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96244
140 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [전극 표면 전위] [1] 3027
139 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3199
» electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [Maxwallian EEDF] [2] 3453
137 CVD 공정에서의 self bias [이차 전자 생성, 입사 이온 에너지 분포] [1] 3494
136 코로나 방전의 속도에 관하여 [코로나 방전의 이해] [1] 3539
135 방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압] [1] 3634
134 Bias 관련 질문 드립니다. [Ion plasma frequency] [1] 3684
133 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [Child-Langmuir sheath model] [2] 3784
132 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다 [고주파 플라즈마 반응 특성] [2] 3814
131 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색] [1] 3847
130 Descum 관련 문의 사항. [라디컬 및 이온 생성과 플라즈마 생성 메커니즘] [1] 4002
129 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [Chemisorption과 pruege gas] [1] 4163
128 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [Self bias 및 플라즈마 방전 매커니즘] [2] 4244
127 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [플라즈마 유전상수] [1] 4508
126 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [충돌 반응 rate constant] [4] 4540
125 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [자유행정거리, Child law sheath] [1] 5068
124 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [Child-Langmuir sheath 및 Debye length] [1] 5436
123 RF Vpp관련하여 문의드립니다. [Self bias와 플라즈마 쉬스] [1] 5915
122 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 6060
121 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [나노 분말 생성 및 제어 연구] [1] 6491

Boards


XE Login