Plasma Source Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문)
2019.06.26 10:25
안녕하십니까.. 현재 반도체업계 종사중이며 Plasma 관련 일을 하고 있습니다.
다름이 아니오라 궁금한 점이 있어 이렇게 글을 올립니다.
Plasma에 의한 Gas 분해 및 치환 시 하기와 같은 예로
Zr[N(CH3)(C2H5)]4 ---->Zr + N + C + H (O2 Add)
-- Zr + O2 --->ZrO2
-- C + O2 -->CO2
-- N + N --> N2
-- 4H + O2 -->2H2O
반응하여 생성된다고 가정하였을 때
반도체 공정중에서 Plasma를 발생시켜 Source Gas 및 Add Gas를 반응시켰을 시
1. 생성되는 Powder 종류
2. 생성되는 Gas 종류
3. 항목 1~2에서 우선순위로 생성되는 Gas 및 Powder 종류
위 내용에 관련하여 조언 및 교육을 받고자 하오니 답변 부탁드리겠습니다.
이상입니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20184 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
159 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 33 |
158 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 80 |
157 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 80 |
156 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 85 |
155 | CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] | 111 |
154 | skin depth에 대한 이해 [1] | 124 |
153 | ICP에서의 Self bias 효과 [1] | 128 |
152 | ICP에서 전자의 가속 [1] | 137 |
151 | 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] | 149 |
150 | CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] | 158 |
149 | 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] | 248 |
148 | 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] | 319 |
147 | ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] | 352 |
146 | H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] | 434 |
145 | 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] | 436 |
144 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 469 |
143 | plasma striation 관련 문의 [1] | 470 |
142 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 501 |
» | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 514 |
140 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 516 |