번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82866
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22003
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58783
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70420
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96404
35 KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion] [1] 569
34 전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성] [1] 660
33 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance] [1] 682
32 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 714
31 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias] [1] 792
30 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 892
29 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1116
28 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1124
27 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1267
26 wafer bias [Self bias] [1] 1289
25 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의] [1] 1367
24 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [Floating sheath] [1] 2104
23 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2346
22 LF Power에의한 Ion Bombardment [플라즈마 장비 물리] [2] 2429
21 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [전극 표면 전위] [1] 3032
20 CVD 공정에서의 self bias [이차 전자 생성, 입사 이온 에너지 분포] [1] 3497
19 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [Child-Langmuir sheath model] [2] 3789
18 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [자유행정거리, Child law sheath] [1] 5075
17 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 9042
16 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 9163

Boards


XE Login