Plasma in general 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무

2023.01.16 16:15

karsir 조회 수:123

Air나 N2를 활용한 로테이팅 젯 플라즈마로 Tool의 유기오염 제거를 평가 적용하고자 합니다.

해당 Tool은 오염 점착 방지를 위하여 실리콘 수지가 Amu(에이뮤코팅)되어 수um T.를 형성하고 있습니다.

실리콘 수지가 중합체일 것으로 추정되는데 Plasma가 해당 코팅에는 어떤 영향을 줄지 궁금합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75425
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19161
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56479
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67556
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89363
748 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 60
747 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 72
746 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 80
745 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 82
744 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 88
743 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [1] 89
742 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 105
741 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 116
» 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 123
739 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 123
738 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 124
737 corona model에 대한 질문입니다. [1] 127
736 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 135
735 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 135
734 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 137
733 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 138
732 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 143
731 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 143
730 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 145
729 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 146
쓰기
태그

Boards

XE Login