ATM Plasma DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown]
2024.05.07 15:55
안녕하세요, 수처리 분야 회사에 재직 중인 최진호 연구원이라고 합니다.
수처리 살균 기법으로 저온 플라즈마에 관심을 갖고 있는데요,
검색이나 여러 논문을 조사해보아도 정보를 찾을 수 없었다가,
여기까지 오게 되었습니다.
3가지 정도 질문 드리고 싶은데 한 번 남겨봅니다.
1. DBD 방전으로 저온플라즈마를 발생시킬 때, 일반적인 전극의 재질로 가장 대표적인 도체인 구리를 사용하거나, 구리 대신 STS 재질을 쓰는 것으로 알고 있는데요, STS를 쓰는 이유가 뭔지 궁금합니다. 합금이라 전극의 수명을 더 오래 늘리기 위함인가요?
또한 도체의 종류에 따라 플라즈마의 생성량 차이가 있는지도 궁금합니다.
2. 전압이 다를 수록 플라즈마의 생성량 차이가 있는지 궁금합니다.
있다면 전압-생성량 공식 또는 그래프에 대한 자료가 있을까요?
3. 저온플라즈마 발생 장치에 주입하는 소스 가스가 이산화탄소, 질소, 산소, 아르곤, 헬륨 등의 불활성가스로 알고 있는데, 반드시 이러한 특정한 gas들을 주입해야 되는 것인지, 아니면 불특정한 혼합 기체여도 반응을 안 하는 불활성가스이면 괜찮은 건지 궁금합니다.
만약 후자라면 상온 상압의 대기에 있는 공기를 소스 가스로 써도 되는 건가요?
답변 기다리겠습니다.