안녕하세요. 플라즈마 관련된 회사에 다니고 있습니다. 

 

관련되어 기초도 아직 잘 몰라서 질문방에서 많이 공부하고있습니다. 

 

질문은 아래와 같습니다. 

 

플라즈마 빔 사이즈 크기 측정 방법.

- OES 를 활용하여 측정외에 다른 방법이 있을까요?  (Ar, He gas 사용.) 

- 예) 카메라 촬영 후 현미경 혹은 포토샵 

- 열화상 카메라 활용 등 

 

측정 할수있는 방법이 궁금합니다.  

 

감사합니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79303
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21285
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58082
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69641
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94468
804 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 183
803 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 185
802 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 185
801 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 188
800 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 197
799 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 197
798 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 199
797 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 203
796 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 203
795 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 205
794 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 205
793 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 209
792 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 209
791 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath] [2] 210
» 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 213
789 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 217
788 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 223
787 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 226
786 RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral] [1] file 227
785 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 229

Boards


XE Login