Others 플라즈마의 환경이용

2004.06.19 16:13

관리자 조회 수:18761 추천:224

환경문제를 야기하는 물질을 고체상태, 액체상태, 기체상태로 나눌수 있습니다. 예를 들어서 고체상태는 산업용 폐자재, 원자력 폐기물 등이 있을 수 있겠고, 액체상태로는 대표적으로 폐수등이 있고, 기체상태로는 자동차 매연, 공장 굴뚝에서 나오는 매연등이 있습니다. 특히 이중에서 기체상태의 공해물질은 질소 화합물, 황화물등이 있는데 금명간에 환경규제로 대기 오염도를 개선해야만 합니다. 또한 먼지 문제도 심각하지요. 이들 기체 상태의 공해물질은 플라즈마를 통하면서 플라즈마의 전자들과의 충돌로 인하여 질소 화합물, 황화물등이 dissociation됨으로 인체에 무해한 화합물로 전환시킬수 있습니다. 따라서 이들 기체가 흐르는 중간에 플라즈마를 발생하여 발생된 플라즈마를 통과 시킴으로써 화합물과 플라즈마를 반응시키고 이러한 반응을 효율적으로 발생시키도록 플라즈마 반응현상을 연구하고 있습니다. 또한 플라즈마의 전하를 먼지에 attach하여 먼지가 하전되게 할 수 있습니다. 하전된 먼지를 전기장이 있는 곳을 통하게 하여 전기력에 의해서 먼지를 한 곳으로 모을 수 있어 제어가 용이한 조건을 형성합니다. 이를 집진기라 합니다. 통상 이때 형성되는 플라즈마는 코로나 방전이라는 방전현상을 통하여 발생되게 되고 플라즈마 물리학자들은 이러한 방전의 현상자체를 공부하고 있습니다. 실로 이론과 실험을 병행할 수 있는 좋은 주제입니다. 위의 예들은 현재 발전소나 제철소 굴뚝에 설치되고 있으며 가까이는 신형 에어콘에 설치된 이온 청정기도 한 예이고 자동차에 설치된 청정기, 음이온 발생기 등이 모두 이 범주에 속합니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76681
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57152
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68673
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92189
787 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 50
786 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 54
785 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 61
784 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 61
783 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 67
782 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 68
781 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 79
780 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 87
779 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 97
778 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 97
777 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 102
776 skin depth에 대한 이해 [1] 104
775 Microwave & RF Plasma [1] 105
774 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 117
773 ICP에서 전자의 가속 [1] 126
772 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 135
771 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 135
770 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 140
769 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 146
768 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 150

Boards


XE Login