Others RF에 대하여,,

2004.06.21 15:27

관리자 조회 수:17073 추천:226

질문 ::

안녕하십니까??
플라즈마를 공부하는 학생으로서 여러가지 면에서 많은 도움을 받고 있습니다. 다름이 아니라 RF에 대하여 몇가지 질문이 있어 이렇게 문의를 드리게 되었습니다.
1) RF plasma에서의 plasma sustain mechanism은 sheath oscillation이라 고 책에서 보았는데,,  보충 설명을 부탁드리겠습니다.

2) 그리고 cathode 표면에 유도되는 self bias를 왜 DC 전위라 하는지,,
알고 싶고요,, Vrf = Vdc + V COS wt의 의미도 설명부탁드립니다.

3) 마지막으로 RF POWER 300W를 사용하여 방전실험을 하고 있는데,,
gauge에선 power값만 읽을 수 있는데,, 방전 전압과 방전 전류를 측정할수 있는 방법은 없을런지요??

두서없이 많은 질문을 한거 같은데,, 답변을 부탁드리겠습니다..
감사합니다.

답변 ::

안테나에 인가되는 전류 전압을 직접 측정하고자 한다면 안테나의 ground 단에 pierson coil등으로 전류를
측정할 수 있으며 인가되는 전압은 high voltage probe를 이용하여 측정합니다. 측정 위치는 모두
M/B 다음단과 안테나 사이에서 측정하여야 실제 안테나 load 전압/전류를 알수 있습니다. 혹은 V-I probe라는
장치를 M/B 전단, 즉 power supply와 M/B 사이에 연결하여 인가되는 전압/전류 곡선을 얻으며 smith chart를
통하여 현재 matching 여건을 확인 할 수 있습니다. 하지만 이들 값으로 실제 형성되어 있는 플라즈마의 전류
등에 대한 정보를 유추하기는 매우 어렵습니다.

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