Monitoring Method 플라즈마진단법엔 어떤것이?

2004.06.21 15:43

관리자 조회 수:18661 추천:254

질문 ::

플라즈마진단법에는 어떤것들이 있나요?
제가 아는건 정전탐침법밖에 없는데.....
정전탐침법뿐아니라 다른 방법들을 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.

답변 ::

플라즈마 진단의 종류는 대단히 많이 있습니다.
크게 두가지로 나눈다면 직접 플라즈마와 닿아 얻어지는 자료를 통하여 특성을 분석하는 방법과
플라즈마와 닿지 않으며 얻어지는 자료를 통하여 플라즈마 특성을 분석하는 방법이 있습니다.
전자의 방법으로는 정전 탐침법으로 대표되며 후자의 경우는 광학적인 방법 혹은 마이크로 파등을
이용하는 방법 및 빔을 이용하여 플라즈마와 충돌하면서 나오는 빛을 분석하는 (광학적인 방법의
일환)등이 있습니다. 이에 관해서 설명하기에는 본란으로는 부족할 것 입니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [218] 75412
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19148
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56477
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67542
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89320
748 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 55
747 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 59
746 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 75
745 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 79
744 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [1] 80
743 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 88
742 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 103
741 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 113
740 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 113
739 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 116
738 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 121
737 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 123
736 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 124
735 corona model에 대한 질문입니다. [1] 125
734 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 133
733 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 136
732 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 138
731 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 140
730 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 141
729 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 141

Boards


XE Login