Sputtering 몇가지 질문있습니다

2009.11.10 20:51

정세훈 조회 수:16557 추천:139

안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
답변부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75432
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56480
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67563
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89370
748 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 61
747 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 80
746 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 80
745 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 89
744 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 90
743 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [1] 99
742 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 105
741 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 120
740 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 123
739 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 124
738 corona model에 대한 질문입니다. [1] 127
737 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 129
736 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 135
735 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 138
734 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 140
733 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 142
732 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 143
731 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 144
730 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 147
729 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 149

Boards


XE Login