안녕하세요 김곤호 교수님.

저는 코로나 방전 공부를 하고 있는 대학원생입니다.

저번에 재료에 따른 이온풍에 대해 질문했었는데요 오늘은 다른 질문을 하러 왔습니다.

저는 wire-plate로 전극을 구성해서 wire에 +극 고전압을 인가해서 코로나 방전을 시키고 있습니다.

이번에 재료를 바꾸면서 실험을 했었는데 이해가 잘 되지 않은 부분이 있습니다.

저는 플라즈마 공간 유지에 있어서 wire의 재질특성이 이온화 에너지가 낮아야 방전이 잘되고 plate의 재질특성이 전기전도도가 낮아야 플라즈마 공간이 잘 유지된다고 생각하고 있습니다.

wire의 재질이 이온화 에너지가 낮아야 된다고 생각한 이유는 이온화 에너지가 낮을 수록 방전 개시전압이 낮아지고 그만큼 플라즈마 공간 형성이 용이 하다고 생각했기 때문입니다.

다음으로 plate의 재질이 전기전도도가 낮아야 된다고 생각한 이유는 전기전도도가 높으면 방전이 일어나면서 plate로 손실되는 에너지가 클 것이라고 생각했기 때문입니다.

하지만 막상 실험을 해본결과 이온화에너지가 가장 낮은 은보다 니켈이 더 성능이 좋았고, 전기전도도가 낮은 텅스텐보다 은이 성능이 더 좋았습니다.

혹시 제가 모르는 다른 요소가 있거나 제가 잘못생각한 점이 있다면 설명해주시면 감사하겠습니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1664
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 4755
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49539
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59750
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75925
643 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 67
642 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 91
641 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 102
640 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 124
639 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 124
638 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 165
637 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 175
636 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 178
635 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 179
634 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 183
633 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 190
632 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 192
631 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 193
630 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 200
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 200
628 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 208
627 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 208
626 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 210
625 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 211
624 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 212

Boards


XE Login