안녕하세요,

ICP (13.56MHz,) 에 Argon을 넣고 방전을 하며 spectrum을 찍고 CR model 시뮬레이션과 함께 line-ratio 방법을 이용해 내부의 전자 밀도를 구하려고 합니다. chamber 내부 압력은 300mTorr에서 800mTorr 사이에서 변화시켰습니다.

작성한 CR model은 pure argon을 가정한 rate balance equation을 토대로 작성됐습니다.

그러나 실제 스펙트럼을 찍어보니 777nm의 산소 스펙트럼이 꽤나 크게 찍히며 일부 peak에서 simulation으로 계산된 intensity와 실제 intensity의 값의 차이가 생기는 것을 볼 수 있었습니다. (실제로 chamber 내부의 air의 비율이 약 14퍼센트 이상 존재합니다.)

이런 스펙트럼이 나오는데 대한 이유는 chamber에서 기체가 새어나가고 있기 때문이라고 생각하여 chamber를 다시 조사하고자 했습니다만

이 문제에 관한 논의 중 Argon의 peak intensity 는 다른 기체가 있어도 별 변화가 없을 것 같다는 의견을 들었습니다.

제 생각에는 argon과 타 기체가 섞였을 때는 quenching에 의한 argon의 de-excitation을 무시할 수 없을 것 같은데, 이렇게 되면 intensity 역시 영향을 받지 않는지요?


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
783 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 22
782 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 35
781 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 37
780 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 39
779 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 50
778 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 56
777 Microwave & RF Plasma [1] 67
776 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 72
775 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 75
774 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 83
773 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 94
772 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 104
771 ICP에서 전자의 가속 [1] 108
770 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 118
769 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 123
768 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 129
767 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 131
766 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 141
765 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 146
764 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 156

Boards


XE Login