안녕하세요..

저는 반도체회사에 근무하는 직장인입니다

RF Generator와 Impedance 관련 궁금한 것이 있어 자문을 얻고자합니다


현재 CVD 공정에서 일하고 있으며, ICP 설비를 다루고 있는데,

동일한 설비이나 Turbo Pump Model이 달라(RPM이 다름) 동일한 Gas 량을 Chamber에 넣어도 Chamber Pressure에 차이가 납니다

실제 공정진행 시 4.7mT,  6.7mT로 약 2mT 차이가 발생하는데요..

이러한 경우에 챔버의 Impedance에도 차이가 나는지, 또 차이가 난다면 어느정도가 나는지 알고 싶습니다.


또 하나는 RF Generator에 관한 질문인데요..

RF Generator는 2MHz를 사용하며, 3000KW출력을 내는 4개의 P/A Board로 구성되어 있어 최대 12000KW 출력을 낼수 있습니다.

P/A Board간의 Current Ballance가 중요하다고 하는데, 왜 중요한지 알고 싶으며,

현재 P/A Board 의 발열에 의한 Burnning 문제가 있는데, 이 Board 간 Current Ballance가 발열에도 영향을 미치는지 알고 싶습니다.


수식으로 설명이 가능하다면 더 이해가 잘 될 거 같은데.. 답변 부탁드립니다.


 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3649
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15344
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62997
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82143
669 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 21
668 플라즈마 관련 교육 [1] 30
667 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 38
666 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 44
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 92
664 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 118
663 RF 파워서플라이 매칭 문제 [1] 131
662 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 142
661 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 142
660 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 161
659 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 186
658 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 186
657 doping type에 따른 ER 차이 [1] 229
656 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 249
655 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 253
654 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 254
653 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 265
652 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 267
651 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 267
650 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 274

Boards


XE Login