Collision 3-body recombination 관련 문의드립니다.
2017.01.19 16:00
Plasma 를 공부하는 중에 bulk plasma 가 아닌 chamber wall 에서의 반응들에 대해 공부하게 되었는데요.
3-body recombination 에 대해 문의드리고자 합니다.
형성된 plasma 가 소모되는 가장 큰 이유로 chamber wall 에서의 충돌이 있다고 알고 있습니다.
단순히 ion 과 electron 이 결합하여 neutral 이 되는 확률은 0 에 수렴하기 때문에
chamber wall 을 통한 3-body recombination 으로 neutral 이 된다고 했는데요.
이때 chamber wall 로의 charge transfer 도 3-body collision 에 의해서 진행되는것인가요?
이렇게 질문을 드리는 이유는
중성빔을 발생시킬때 plasma 를 reflecter 로 입사하여 reflecter 에 charge transfer 후 중성빔을 형성한다고 배웠습니다.
이때 ion 의 charge 가 trasfer 되는 원리가 3-body recombination process 에 의해서 된다고 들은 기억이 있는데
막상 이를 도식화 하려니까 정리 및 이해가 아직 잘 안됩니다.
댓글 2
-
김곤호
2017.01.20 11:30
-
신재희
2017.01.20 16:57
네 2-body recombination 이 안되는 이유에 대해서는 수식적으로나
다른 설명등을 통해서 접했기 때문에 이해하고 있습니다.
다만 3-body recombination process 상에 charge transfer 가 일어나는지에 대한 문제입니다.
예를들어 chamber wall 을 통해 negative ion 과 electron 이 recombination 을 한다면
이 과정에서 chamber wall 과 negative ion 간의 charge transfer 가 일어나면서
recombination 이 진행되는것인지, 혹은 단순히 중간 매개체로써 recombination 상에
참여하는것인지 문의 드립니다.
사실 chamber wall 을 통한 negative ion 과 electron 의 3-body recombination 이 어떻게 일어나는지
mechanism 에 대한 이해가 부족하여 질문의 구체성이 부족할 수 있습니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] | 3648 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 15337 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 50578 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 62994 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 82115 |
669 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 12 |
668 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 18 |
667 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 33 |
666 | 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] | 40 |
665 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 88 |
664 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 112 |
663 | RF 파워서플라이 매칭 문제 [1] | 128 |
662 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 139 |
661 |
구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다.
[1] ![]() | 142 |
660 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 160 |
659 | 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] | 186 |
658 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 186 |
657 | doping type에 따른 ER 차이 [1] | 229 |
656 | 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] | 249 |
655 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] | 252 |
654 | H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] | 254 |
653 |
연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준
[1] ![]() | 262 |
652 | SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] | 266 |
651 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 267 |
650 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1] ![]() | 268 |
음이온 전자와 양이온 입자가 결합해서 중성입자가 되어야 하는 과정에서 3-body 충돌의 개념이 필요합니다. 그 이유는 에너지 보존과 모멘텀 보존이 되어야 하기 때문입니다. 이는 당연히 플라즈마 수업에서 2-body 충돌 해석에서 공부를 했을 것이니, 이를 확장해서 생각해 보면 3-body 충돌 조건에 대해서 이해와 수식화를 수월하게 할 수 있을 것 입니다.