안녕하세요 현재 2차원물질 공정을 연구하는 석사과정 대학원생입니다.

이 공정중에는 플라즈마 처리가 있는데요

power가 커짐에 따라 챔버내부의 빛도 밝아지는 것을 볼수 있는 반면에

압력을 30에서 120mTorr으로 증가시켰을때는 어두워지는 것을 관찰하였습니다.

power와 마찬가지로 압력도 밝기에 비례할것이라고 예상하였는데 어떤 이유가 있는지 궁금합니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4946
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16313
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51255
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63779
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83585
679 plasma striation 관련 문의 file 21
678 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 29
677 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 file 39
676 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. [1] 39
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 65
674 Polymer Temp Etch [1] 67
673 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 83
672 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 93
671 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 108
670 Plasma Arching [1] 115
669 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 144
668 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 159
667 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 207
666 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 208
665 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 210
664 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 211
663 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 212
662 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 215
661 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 226
660 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 258

Boards


XE Login