DC glow discharge 플라즈마 압력에 대하여

2017.11.10 11:27

physw35 조회 수:2425

안녕하세요 현재 2차원물질 공정을 연구하는 석사과정 대학원생입니다.

이 공정중에는 플라즈마 처리가 있는데요

power가 커짐에 따라 챔버내부의 빛도 밝아지는 것을 볼수 있는 반면에

압력을 30에서 120mTorr으로 증가시켰을때는 어두워지는 것을 관찰하였습니다.

power와 마찬가지로 압력도 밝기에 비례할것이라고 예상하였는데 어떤 이유가 있는지 궁금합니다.


감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3647
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15336
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50577
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62991
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82108
669 플라즈마 관련 교육 [1] 11
668 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 18
667 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 33
666 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 40
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 88
664 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 111
663 RF 파워서플라이 매칭 문제 [1] 127
662 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 139
661 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 142
660 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 160
659 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 186
658 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 186
657 doping type에 따른 ER 차이 [1] 229
656 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 249
655 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 252
654 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 254
653 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 262
652 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 266
651 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 267
650 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 268
쓰기
태그

Boards

XE Login