안녕하세요

은퇴후 자작으로 해봅니다.

이쪽은 생소한 분야라서 공부하면서 실험합니다. (본래 저는 전자공학을 전공했습니다.)

백금족 전극으로 수도물에

1)  DC 12V를 인가하여 5분간 전기분해 개념으로 작동했더니, >> ORP = -200~-300mV, Ph=7.5~7.7, 수소 300~400PPB 정도가 생성,

2) 같은 조건으로 30초 간격으로 전극의 극성을 바꾸었더니 측정 결과는 조금 높게 나옵니다.

3) 그리고 이번에는 DC 12, 10KHz 구형파를 작동식켜보니 좀더 나은 데이터가 나오고

4)  24KHz를 걸어보니 좀더 나은 데이터가 나오는데

질문은요...

(1) 위 실험 중에서 전기분해와 플라즈마 발생을 나눌 수 있나요.

    예를들면 1), 2)는 전기분해, 3),4)는 플라즈마...

(2) 위 1과 2가 다른 데이터가 나오는 이유가 무엇일까요.

(3) 3,4 에서 주파수를 계속높이면 더 좋은 결과를 얻을 수 있을까요.

(4) 그렇다면 주파수는 얼마까지 높일 수 있나요.

설명 주시면 감사하겠습니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [218] 75409
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19148
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56477
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67540
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89320
748 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 55
747 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 59
746 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 75
745 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 79
744 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [1] 80
743 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 88
742 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 103
741 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 113
740 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 113
739 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 116
738 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 121
737 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 123
736 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 124
735 corona model에 대한 질문입니다. [1] 125
734 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 133
733 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 136
732 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 138
731 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 140
730 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 140
729 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 141

Boards


XE Login