Chamber Impedance chamber impedance

2019.09.24 15:45

nok73 조회 수:1495

안녕하십니까? 교수님, 


ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다. 

알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요? 

또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요? 

답변을 부탁 드립니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [53] 1149
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 865
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49367
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59358
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 73875
635 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 47
634 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 58
633 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 61
632 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 78
631 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 89
630 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 92
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 94
628 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 104
627 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 106
626 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 154
625 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 157
624 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 164
623 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 167
622 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 172
621 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 174
620 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 175
619 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 180
618 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 182
617 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 188
616 anode sheath 질문드립니다. [1] 193

Boards


XE Login