ICP ICP 대기압 플라즈마 분석

2021.11.11 14:47

플라즈마스터 조회 수:171

안녕하세요. 교수님,

 

 

합성을 목적으로 두고 있는 5kW, 13.56MHz RF generator, ICP coil 을 이용해 대기압 플라즈마를 생성할 때 플라즈마 특성을 분석을 하고 싶은데,  일반적으로 많이 사용하는 RGA는 진공 환경에서 작동되는 것으로 알고있습니다. 관련 내용을 홈페이지에서 검색해 보니 2004년도에 교수님께서는 탐침과 OES 등을 이용해 분석하셨다고 쓰여있는데,

 

1. 혹시 그 동안 분석 방법에 대해서 발전된 것이 있는지,

2. 여전히 같은 방법으로 사용하고 계시다면 탐침과 OES로 어떤 것을 사용하였는지 

 

제가 고체 물리 전공이지만 시료 합성을 위해 PECVD 관련 내용을 공부한지 얼마 안돼 관련 전공 지식이 많이 부족한 상태입니다. 추가적으로 해당 모델에 대해서 제가 공부하기 좋은 내용을 추천해 주시면 감사하겠습니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1692
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 5836
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49539
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 76026
643 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 82
642 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 102
641 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 117
640 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 125
639 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 125
» ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 171
637 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 175
636 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 183
635 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 191
634 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 191
633 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 192
632 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 193
631 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 196
630 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 200
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 203
628 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 209
627 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 209
626 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 210
625 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 212
624 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 217

Boards


XE Login