안녕하세요. 플라즈마를 이용한 연료 개질 관련 연구를 시작한 대학원생입니다.

플라즈마를 기반으로한 연구는 처음이라 교과서 위주로 공부를 하고 있습니다만, 실제 연구 과정에서 오는 어려움 때문에 질문드립니다.

(전기 신호와 관련한 공부를 한적이 없기 때문에 연구하는데 큰 어려움이 있는 것으로 판단하고 있습니다.)

 

먼저, 글라이딩 아크 방전 플라즈마 반응기를 사용하고 있으며, AC power supply로 반응기에 전력을 인가하고 있습니다. (20kHz, 수kV, 수mA 범위)

 

해당 파워 서플라이를 통해 인가하는 전력을 변화 시켰을 때, 개질되는 양을 측정하려고 합니다.

이에 대하여 전력의 크기가 변해도 아크 방전 플라즈마가 안정적으로 형성되는 것이 우선시 되어야 할텐데, 저전력(약 500~700W) 인가 시에는 플라즈마가 안정적으로 작동하지만 전력을 높이는 경우 (약 1kW) 플라즈마가 잘 형성되지 않습니다.

이는 파워 서플라이와 반응기(챔버+플라즈마) 사이의 임피던스가 맞지 않아 안정적으로 작동이 되지 않는 것으로 판단됩니다.

해당 게시판에 RF 파워 서플라이와 부하 사이의 임피던스 매칭에 대한 내용은 꽤 있는데, 다른 형태의 파워서플라이의 경우에는 임피던스 매칭을 어떻게 해야되는지 감이 전혀 안옵니다.

이러한 문제를 해결할 수 있는 방법이나, 도움되는 자료를 알려주시면 감사하겠습니다.

 

다음으로, 랭뮤어 프로브를 통해 플라즈마의 밀도 및 전자 온도 등을 측정할 수 있는 것으로 아는데 상용 프로브는 가격이 고가여서 구입에 어려움이 있습니다. PAL 에서는 랭뮤어 프로브를 자체 제작해서 사용하시는지 궁금하고, 자체 제작의 난이도가 궁금합니다.

 

전기 관련 지식이 너무 부족한 바 질문이 어리석어도 이해 부탁드립니다.

 

답변 기다리겠습니다.

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2359
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12932
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49618
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61116
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 79610
659 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 26
658 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 63
657 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 71
656 etch defect 관련 질문드립니다 85
655 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 106
654 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 109
653 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 139
652 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 147
651 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 147
650 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 154
649 doping type에 따른 ER 차이 [1] 164
648 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 176
647 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 178
646 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 203
645 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 206
644 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 208
643 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 218
642 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 221
641 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 222
640 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 233

Boards


XE Login