Sputtering RF Sputtering Target Issue

2022.10.28 21:14

백지현 조회 수:551

안녕하세요 교수님. 이번에 새로이 RF 스퍼터를 사용하게 된 학생입니다. 

첨부한 이미지와 같이 현재 metal oxide 타겟을 이용하여 증착 후 타겟에 검은색 ring 모양의 contamination이 생기는 이슈가 있습니다.

서칭 결과 Magnetic feild로 인한 redeopsition으로 추청되는데 해당 현상이 맞는 것인 지와 현상을 해결하기 위한 방법(e.g. RF power 감소)을 여쭙고자 합니다.

아직 스퍼터를 사용한 지 얼마 되지 않아 많이 미숙하여 자체적인 판단이 어려워 도움을 요청드리는 바입니다.

날이 많이 추워졌는데 건강 조심하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다!

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20045
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91552
782 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 23
781 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 30
780 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 34
779 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 40
778 Microwave & RF Plasma [1] 43
777 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 49
776 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 55
775 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 62
774 ICP source에서 End-capacitor와 Vpp의 관계 file 63
773 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 66
772 ICP에서 전자의 가속 [1] 78
771 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 80
770 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 81
769 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 91
768 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 97
767 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 109
766 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 127
765 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 140
764 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 148
763 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 165

Boards


XE Login