Remote Plasma 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ

2019.06.25 10:26

evision21 조회 수:975

 회원 가입했어요

 유용한 사이트 운영 감사 드립니다


 RPS(Remote plasma source) 에 들어가는 알미늄 부품 중기가

수출하고자 하는데요.

  이제품이 반도체 CVD CHAMBER MAKER에 들어가는 부품이라고 합니다


  CHAMBER 내부 구조도를 간략히 개념도로 알려 주실수 있나요?


 -챔버 내에 어느부위에 몇개가 들어 가는지요?

 - RPS 가 CVD 챔버에서 어떤 기능을 하는지요? 

- 세계적 선도 RPS 기업은 어디 인지요? 

-플라스마 여러 소스중 RPS 의 비중은 어느정도나 되나요?   채용시 장점은 ?


evision21 드림

trade consultanta  

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75775
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19458
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56674
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68038
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90336
578 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 917
577 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 917
576 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 922
575 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 929
574 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 933
573 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 939
572 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 942
571 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 946
570 고진공 만드는방법. [1] 949
569 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 955
568 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 959
567 진학으로 고민이 있습니다. [2] 962
566 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 963
565 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 973
» 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 975
563 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 977
562 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 979
561 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 979
560 전자 온도 구하기 [1] file 981
559 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 983
쓰기
태그

Boards

XE Login