번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59475
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437 MATCHER 발열 문제 [3] 1001
436 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1028
435 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1034
434 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 1035
433 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1047
432 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1051
431 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1053
430 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1054
429 charge effect에 대해 [2] 1057
428 etching에 관한 질문입니다. [1] 1058
427 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1063
426 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1064
425 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 1064
424 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1071
423 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1075
422 Ar plasma power/time [1] 1075
421 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1089
420 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1090
419 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1100
418 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1101

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