OES EEDF, IEDF, Cross section관련 질문

2019.07.09 11:28

베컴 조회 수:1618

안녕하십니까? 에쳐장비 현업에 종사하고 있습니다.


OES를 통해서 EEDF를 어떻게 그래프화 할 수 있느지 궁금합니다.

일단 분광기를 통해서 받아들인 파장에 따른 강도의 Law data를 가지고 어떤식으로 구하는지요?

제 생각에는 기존의 에너지 분포함수등을 참고하여, 모델링 할것으로 판단이 되는데....구체적인 개념적 방법을 알고 싶습니다.


그리고, IEDF도 OES를 통해서 구할수 있는지요? 플라즈마 상태에서 전자와 이온전류의 Net Current가 0임을 전제로 하여, 구할수도 있을 듯한데....개념적인 설명 부탁드립니다.


추가적으로 공정 라티칼 Cross Section관련, 이 부분은 플라즈마 내부 물리적 충돌로 인한 영향과 화확적 반응 정도를 파악하기 위해 보는 상수나 그래프라 추정합니다....충돌단면적을 구하는 방법또한 궁금합니다.


바쁘시겠지만, 추천해주실 논문이나, 개념적이나 간단한 수학적 설명 부탁드립니다.

(상기 관련 다양한 접근방법이나 방식이 있겠지만, 레퍼로 참고할 수 있는 방식 부탁드립니다.)


본 사이트를 통해 다양한 정보와 지식을 공유하고 생각하는데에 대해 항상 감사하게 생각하고 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
583 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 974
582 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 982
581 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 999
580 고진공 만드는방법. [1] 1001
579 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1001
578 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1007
577 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1009
576 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1018
575 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1025
574 Plasma Arching [1] 1025
573 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1026
572 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1027
571 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1028
570 플라즈마 코팅 [1] 1032
569 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1040
568 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1040
567 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1044
566 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1045
565 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1054
564 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1058

Boards


XE Login