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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다.
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플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
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I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다.
[1] | 1036 |
496 |
자기 거울에 관하여
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ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요??
[1] | 1041 |
494 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1048 |
493 |
[CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
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492 |
Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다.
[3] | 1068 |
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플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다.
[2] | 1068 |
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PECVD 증착에서 etching 관계
[1] | 1080 |
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ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2] | 1097 |
488 |
EEDF, IEDF, Cross section관련 질문
[1] | 1129 |
487 |
플라즈마 기초입니다
[1] | 1131 |
486 |
CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도
[1] | 1146 |
485 |
Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1153 |
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[질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문
[2] | 1156 |
483 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1173 |
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ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
[1] | 1184 |
481 |
Pecvd 장비 공정 질문
[1] | 1189 |
480 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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