Others [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문

2019.07.22 21:04

msg._.life 조회 수:1370

안녕하십니까, 식각공정 장비 담당하는 회사원입니다. 

장비에서 올라오는 신호로 Plasma에 대해 해석을 하는 경우가 있는지 알고싶습니다.

양산라인에서 쓸만한 Monitoring Method에 대해서도 알고싶습니다.


제 주 업무는 장비에서 올라오는 신호들을 분석하는 것인데요,

(저희 부서에서는 일본계 회사 제품을 사용하고있습니다.)


업무를 하다보면 제품 온도 변화 혹은 내부 상태의 변화에 따라 불량이 발생하는 경우가 자주 있습니다.

아쉬운 점은 이걸 장비 신호로 플라즈마의 공정상 영향을 미치는 정보들이 해석이 안되는 경우가 많습니다.

(특정 구간에서 불량이 검출되었으나 Trend 상으로 전혀 문제가 없어 보이는)


센서 심화를 더 시켜야 하는것인지 고민될때가 많습니다.(H/W적인 변경점을 주는것은 상당히 어렵습니다만)

연구실에서 사용하는 방법론들에 대해 알려주시면 많은 도움이 될 것 같습니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76648
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20146
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57146
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68668
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92120
587 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 969
586 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 973
585 anode sheath 질문드립니다. [1] 976
584 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 982
583 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 990
582 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 991
581 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1003
580 고진공 만드는방법. [1] 1006
579 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1010
578 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1012
577 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1020
576 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1028
575 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1029
574 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1035
573 플라즈마 코팅 [1] 1035
572 Plasma Arching [1] 1037
571 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1044
570 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1045
569 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1046
568 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1051
쓰기
태그

Boards

XE Login