안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.

RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [301] 78015
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20833
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57735
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69249
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93625
617 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 880
616 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 885
615 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 886
» RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 892
613 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해] [1] 892
612 문의 드립니다. [1] 895
611 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 897
610 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 904
609 Plasma Generator 관련해서요. [1] 922
608 Self bias 내용 질문입니다. [1] 923
607 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 928
606 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 935
605 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 936
604 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 942
603 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 943
602 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 957
601 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 958
600 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 963
599 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 965
598 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 966

Boards


XE Login