Sputtering 몇가지 질문있습니다
2009.11.10 20:51
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
답변부탁드립니다
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76650 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20147 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57146 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68668 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92121 |
| 567 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 1052 |
| 566 | RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] | 1055 |
| 565 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1]  | 1060 |
| 564 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 1068 |
| 563 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1069 |
| 562 | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 1086 |
| 561 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 1094 |
| 560 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1101 |
| 559 | 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] | 1104 |
| 558 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1110 |
| 557 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 1111 |
| 556 | Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] | 1116 |
| 555 |
전자 온도 구하기
[1] | 1119 |
| 554 | wafer bias [1] | 1125 |
| 553 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1126 |
| 552 | 자기 거울에 관하여 | 1135 |
| 551 | 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. | 1138 |
| 550 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1142 |
| 549 | 공정플라즈마 [1] | 1142 |
| 548 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1] | 1151 |