번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [219] 75418
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19151
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56477
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67546
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89328
508 플라즈마 기초입니다 [1] 1217
507 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1218
506 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1222
505 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1233
504 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1249
503 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1253
502 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1254
501 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1267
500 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1271
499 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1272
498 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1273
497 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1278
496 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1279
495 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1280
494 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1305
493 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 1312
492 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1321
491 MATCHER 발열 문제 [3] 1335
490 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1341
489 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1342
쓰기
태그

Boards

XE Login