플라즈마를 이용해서 가스 분해를 해봤는데요

분광진단을 통해서 플라즈마 토치의 위치별 분해된 종들의 rotational temperature를 측정해 봤습니다.

근데 어떤 한 분해종이 플라즈마 토치중심부에서  위로 올라갈수록 온도가 올라가는 경향이 타나났습니다.

이런 현상이 나타나는 원인이 무엇인가요? 몇번을 측정해도 같은 결과가 나오더군요

혹시 rotational temperature가 밀도와 관련이 있나요? 그 분해종은 저온영역에서 밀도가 급속도로 높아지는 경향이 보이거든요

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20046
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91564
542 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1138
541 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1140
540 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1143
539 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1155
538 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1167
537 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1170
536 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1186
535 플라즈마 챔버 [2] 1192
534 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1197
533 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1199
532 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1199
531 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1225
530 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1227
529 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1236
528 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1250
527 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1260
526 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1262
525 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1265
524 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1274
523 플라즈마 기초입니다 [1] 1277

Boards


XE Login