DC glow discharge 안녕하세요 교수님.
2012.05.31 00:49
안녕하세요 저는 전기공학을 전공하고있는 학부생입니다.(물론 서울대 학생이 아닙니다)
플라즈마공학 수업을 듣던중 궁금한것이 있어 이렇게 질문을 드립니다.
제가 이번에 간단한 플라즈마 DC 방전관을 설계하게 되었는데 음극의 2차전자계수가 필요한데 여러가지 검색이나 많은 경로로 찾아보았지만 아무래도 전문적인 것이라 쉽게 찾아볼수가 없어서 이렇게 감히 무례를 무릅쓰고 질문을 드립니다.
음극에는 어떠한 물질(어떤 금속이나 도체가 쓰이는지)와 그 물질의 2차전자계수를 알수있는 자료나 사이트등을 알 수 있는지 궁금합니다!
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76681 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57152 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68673 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92189 |
| 527 | 플라즈마 기초입니다 [1] | 1279 |
| 526 | 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] | 1284 |
| 525 | [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] | 1288 |
| 524 | 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] | 1303 |
| 523 | I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 1306 |
| 522 | ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] | 1311 |
| 521 | 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] | 1319 |
| 520 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1]  | 1323 |
| 519 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 1326 |
| 518 | DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] | 1330 |
| 517 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 1342 |
| 516 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1343 |
| 515 | low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] | 1344 |
| 514 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1347 |
| 513 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1354 |
| 512 | Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] | 1357 |
| 511 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1370 |
| 510 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1374 |
| 509 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1381 |
| 508 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1386 |