OES RGA에 대해서

2004.06.19 16:41

관리자 조회 수:10534 추천:267

질문 ::
제주대학교 최치규 교수님 연구실의 대학원생입니다.
CF4와 CH4 gas를 써서 ICP로 증착하는데, 실제 chamber내에
어떤 gas가 들어가는지를 RGA로 측정하려하는데 실제 나오는
peak이 제가 생각하는것과 너무 이상하게 나와서 문의드립니다.
예를 들어 컴퓨터상의 프로그램에서 가로축은 gas의 mass를 의미하는데 28인 경우 N2라 예상되어지는데 실제 peak은 너무 다르게 나와서
문의드립니다.
혹시 RGA에 대한 library가 있으시다면 부탁드립니다.

답변 ::

글쎄, 질문만으로는 무슨 문제인지 알 수 없군요.
일단 inert gas를 이용하거나 He, Ar과 같은 단원자 분자 개스를 이용하여
플라즈마를 만들고 RGA를 동작시켜 보세요. 이들에 대한 원자 질량은 분명하므로
값을 쉽게 비교할 수 있을 것이며 구체적인 실험은 지도 교수님과 상의해 보는 것이
좋을 것 같습니다. 물론 결과에 의심이 가면 계측기 vendor와도 상의하십시오.
Liberary상의 문제는 아닐 것 같습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
523 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1289
522 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1289
521 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1294
520 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1307
519 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1317
518 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1318
517 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1320
516 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1322
515 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1327
514 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1332
513 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1336
512 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1338
511 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1352
510 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1363
509 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1365
508 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1382
507 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1383
506 플라즈마 관련 교육 [1] 1383
505 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1391
504 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1395

Boards


XE Login