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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power]
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wafer bias [Self bias]
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Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해]
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Uniformity 관련하여 문의드립니다. [베르누이 정리]
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플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics]
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micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계]
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엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [나노광전자 데이터 분석]
[1] | 1512 |
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RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화]
[1] | 1513 |
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플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential]
[2] | 1513 |
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MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의]
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전자 온도 구하기 [쉬스 전압, 스퍼터링 효과]
[1]  | 1542 |
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식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [O2 plasma, ion sputtering]
[1] | 1545 |
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[CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속]
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수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의]
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poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
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잔류시간 Residence Time에 대해 [표면 유속 정보, 유체해석 코드]
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임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량]
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CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화]
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dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [플라즈마 생성 반응]
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플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory]
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