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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[160]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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407 |
교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
[2] | 1872 |
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406 |
RIE에서 O2역할이 궁금합니다
[4] | 1877 |
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405 |
CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다
[1] | 1924 |
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404 |
RPS를 이용한 SIO2 에칭
[1] | 1951 |
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403 |
Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련.
[1] | 1994 |
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402 |
RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
[2] | 2000 |
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401 |
플라즈마볼 제작시
[1]  | 2013 |
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400 |
Si Wafer Broken
[2] | 2037 |
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399 |
질문있습니다.
[1] | 2041 |
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398 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 2043 |
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397 |
양극 코로나 방전에 대한 질문입니다.
[1] | 2044 |
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396 |
Wafer particle 성분 분석
[1] | 2055 |
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395 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1] | 2097 |
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394 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[1] | 2104 |
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393 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 2107 |
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392 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 2133 |
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391 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 2151 |
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390 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 2156 |
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389 |
안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2169 |
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388 |
RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
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