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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63745
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377 Plasma etcher particle 원인 [1] 2026
376 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2046
375 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2048
374 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2054
373 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2061
372 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2108
371 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2109
370 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2110
369 임피던스 매칭회로 [1] file 2115
368 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2127
367 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2132
366 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2304
365 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2353
364 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2363
363 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2382
362 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 2389
361 PR wafer seasoning [1] 2402
360 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2411
359 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2411
358 Descum 관련 문의 사항. [1] 2415

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