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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[143]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 53030 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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398 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 1955 |
397 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 1962 |
396 |
Si Wafer Broken
[2] | 1965 |
395 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 1974 |
394 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 1989 |
393 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 2003 |
392 |
Wafer particle 성분 분석
[1] | 2014 |
391 |
양극 코로나 방전에 대한 질문입니다.
[1] | 2023 |
390 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[1] | 2041 |
389 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1] | 2076 |
388 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 2076 |
387 |
Ta deposition시 DC Source Sputtreing
| 2096 |
386 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 2103 |
385 |
안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2107 |
384 |
수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다.
[3] | 2154 |
383 |
RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
| 2158 |
382 |
플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는?
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381 |
RIE에 관한 질문이 있습니다.
[1] | 2185 |
380 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 2201 |
379 |
플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 2221 |
저온 플라즈마의 단점이라고 하셨는데 저온 플라즈마를 어디에 활용할 때의 단점이라는 뜻인지,
또 저온이라는 것이 무엇 대비 얼마나 온도가 낮은 플라즈마를 뜻하는 것인지 명확한 질문 부탁합니다.